SPS POLOS系列匀胶旋涂仪SPIN150i参数介绍

一、SPS(POLOS) Spin ProcessorPOLOS系列介绍
德国SPS POLOS系列匀胶旋涂仪提供了 、可重复的工艺流程控制方案。一个高效的空气动力学腔体确保旋涂的高度均匀性，天然聚丙烯（NPP）或聚四氟乙烯（PTFE）材质，整机无金属裸露，无交叉污染，易清洗维护，为用户带来全新的操作体验。

二、SPS(POLOS)系统参数表
           SPIN150i                        SPIN200i
程序段数： 无限制                             无限制
操作步数： 无限制                             无限制
旋转速度：0-12000rpm±1rpm steps     0-12000rpm±1rpm steps
旋转精度： ± 0.1 rpm                   ± 0.1 rpm
旋转?方向：      顺时针、逆时针、交换摆动
最?大加速度：    30,000 rpm/sec 
旋转时间：       无限制*, ± 0.1 seconds steps 
基?片范围： 160mm 直径or4?方片             260mm直径or 6?方片
腔体直径：   202 mm                          302 mm
外形尺寸：274(w)x250(h)x451(d)mm    380(w)x307(h)x559(d) mm

三、SPS(POLOS)匀胶旋涂仪SPIN PROCESSOR的技术参数：
??外壳材质：天然聚丙烯（NPP）或聚四氟?乙烯（PTFE）
??腔体材质：天然聚丙烯（NPP）或聚四氟?乙烯（PTFE）
??外部连接：通过USB连接；
??输?入电压：200-240VAC、50/60 ；
??功率消耗：最?大500w
??最?大电流：2,5A
??真空吸附：-65kPa(-19inchHg),≥80lpm，Tube OD ?8mm
???马达保护：20-50kPa,2-5l/min,Tube OD ? 6mm（可关闭）
??排废连接：1” M-NPT