MLase准分子激光器MLI-500提供248nm紫外线光源

MLase是专业的紫外线医疗和工业产品供应商。自TuiLaser AG的前成员于2007年12月创立MLase以来，我们一直致力于开发和生产创新的高质量激光和光系统，这是一支高度专业化的 团队多年经验的结晶。

产品系列可以提供多种激光波长，包括波长为193nm（气体：ArF氟化氩）和248nm（气体为KrF氟化氪）的准分子激光器。还可以根据要求提供更多波长产品。
MLase的现代紧凑型MLI准分子激光器是波长为193nm或248nm的紫外线光源，具有高达16mJ的高脉冲能量和高达1000Hz的脉冲重复频率。
它们是市场上使用寿命最长、可靠性 、运行成本 的独立设备。其均匀的钢型材和能量稳定性使其非常适合要求苛刻的应用。
我们的LC准分子激光系统还能够进行主动水冷却（使用家用水或外部热交换器；不使用纯化水），以实现稳定的连续操作。

主要功能刚性设计
客户利益高可靠性
电晕预电离 均匀梁剖面
固态电路
即时可用，无老化
卡套管技术全金属密封管
长数十亿脉冲的寿命
能量监测器
能量稳定紧凑型Excimerlaser，单相
易于操作，易于集成

参数ArF ArF KrF KrF
波长（nm）193 193 248 248
重复频率（Hz）500 1000 500 1000
稳定脉冲能量（mJ）6 6 10 10
稳定脉冲功率（W）3,0 6,0 5,0 10
能量稳定性（西格玛，%）2 2 2 2
光束尺寸（FWHM，V x H mm）6x3 6x3
光束发散度（FWHM，V x H mrad）2x1 2x1 2x2
脉冲持续时间（FWHM）（ns）

Mlase248mm紫外激光器/准分子激光器
MLI-500主要参数:
波长: 248nm
2. 重复频率500Hz
3.稳定脉冲能量:10mI
4.稳定脉冲功率:5w
能量稳定性: 2%
6光斑尺寸: 6*3mm(EWHM

脉宽:5-15ns(FWHM)

MLase准分子激光器MLI-500提供248nm紫外线光源