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而设计。台式型号可手动或自动（可选）分配化学
品。
腔体规格
外壳材质
天然聚丙烯（NPP）
底物直径
可用 6” (150 mm) 晶圆
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SPS旋涂机POLOS ® SPIN150x用于实验室清洗冲洗
- 品牌：SPS
- 型号：150
- 货号：POLOS SPIN150x
- 价格： ￥5000/台
- 发布日期： 2024-01-26
- 更新日期： 2025-07-11
产品详请
| 分辨率 | 100 |
| 品牌 | SPS |
| 货号 | POLOS ® SPIN150x |
| 用途 | 实验室 |
| 电源电压 | 230V |
| 型号 | POLOS ® SPIN150x |
| 规格 | 150 |
| 测量精度 | 5 |
| 重量 | 10kg |
| 测量范围 | 0-10 |
| 加工定制 | 否 |
| 外形尺寸 | 100 |
| 保修期 | 12个月 |
| 是否进口 | 是 |
SPS旋涂机POLOS ® SPIN150x用于实验室清洗冲洗
POLOS ® SPIN150x 是一种多功能、高质量的基底
旋涂机，由 NPP 制成。它专为研发和小批量生产而设计。台式型号可手动或自动（可选）分配化学
品。
腔体规格
外壳材质
天然聚丙烯（NPP）
底物直径
可用 6” (150 mm) 晶圆
可用 4” x 4” (100 mm) 底物
适用范围:
? 涂层
? 清洗冲洗/烘干
? 显影
? 刻蚀
? PDMI
? 其他程序.
硬件规格：
液体过滤疏水阀
? 独特的外壳和排水管设计，可切换桌面和Indeck模式
用于注射器或喷嘴的中心注射支架
? 盖锁和真空传感器确保用户安全
? 大尺寸触摸显示屏（可拆卸）
? USB 端口，用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件
更新
驱动装置规格：
? 间接无刷驱动装置
? 转速高达 12.000 RPM（取决于底物/卡盘）
? 高加速度、高精度
? 加速/减速 1-30.000 RPM
? 顺时针、逆时针旋转和漩涡选项
SPS旋涂机POLOS ® SPIN150x用于实验室清洗冲洗
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