德国SPS POLOS ® SPIN150x基底旋涂机

POLOS ® SPIN150x 是一种多功能、高质量的基底

旋涂机，由 NPP 制成。它专为研发和小批量生产
而设计。台式型号可手动或自动（可选）分配化学
品。
腔体规格
外壳材质
天然聚丙烯（NPP）
大底物直径
大可用 6” (150 mm) 晶圆
大可用 4” x 4” (100 mm) 底物
我们的新 POLOS ® SPIN150 X 将于2024
年开始供应
适用范围:
? 涂层
? 清洗冲洗/烘干
? 显影
? 刻蚀
? PDMI
? 其他程序.
硬件规格：
液体过滤疏水阀

? 独特的外壳和排水管设计，可切换桌面和Indeck模式
用于注射器或喷嘴的中心注射支架
? 盖锁和真空传感器确保用户安全
? 大尺寸触摸显示屏（可拆卸）
? USB 端口，用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件
更新
驱动装置规格：
? 间接无刷驱动装置
? 转速高达 12.000 RPM（取决于底物/卡盘）
? 高加速度、高精度
? 加速/减速 1-30.000 RPM

? 顺时针、逆时针旋转和漩涡选项

德国SPS POLOS ® SPIN150x基底旋涂机