SPS POLOS旋涂机SPIN150x功能特点

POLOS ® SPIN150x 是一种多功能、高质量的基底

旋涂机，由 NPP 制成。它专为研发和小批量生产
而设计。台式型号可手动或自动（可选）分配化学
品。
腔体规格
外壳材质
天然聚丙烯（NPP）
大底物直径
大可用 6” (150 mm) 晶圆
大可用 4” x 4” (100 mm) 底物
我们的新 POLOS ® SPIN150 X 将于2024
年开始供应
SPS SPIN150x旋涂仪具有以下功能：
薄膜制备：主要用于利用向心力制造厚度低于10nm的均匀高质量薄膜。
可在半导体晶圆上旋转涂光刻胶，也能旋涂聚合物薄膜，如嵌段共聚物（BCP）、PDMS和PMMA，还可用于低成本的溶胶-凝胶方法，如旋涂ZnO薄膜。
多种工艺支持：适用于多种典型的旋转工艺，包括清洗、漂洗/干燥、涂层、显影、蚀刻等，可满足MEMS、半导体、生命科学、光伏、微流控等领域的研发和小批量生产需求。
控制与编程：配备高精度驱动装置，转速高达12,000RPM（取决于底物/卡盘），加速度范围为1-30,000RPM，具有高加速度、高精度的特点。
通过触摸屏可轻松直观地编程，提供无限的程序/步骤和图形表示，能 控制旋转过程，确保涂层厚度和均匀性的高度一致性，实现可重复的旋涂工艺。
安全与便捷设计：独特的外壳和排水管设计，可切换桌面和Indeck模式。具备盖锁和真空传感器，确保用户安全。

设有液体过滤捕集器，可保护关键部件，如驱动单元、真空阀、真空传感器和伺服控制器等。还拥有中心注射支架，方便注射器或分配喷嘴的定位。

SPS POLOS旋涂机SPIN150x功能特点