Jugitec 手套箱日常保养方法

Jugitec 手套箱作为半导体等精密行业的关键设备，其日常保养直接影响运行稳定性和操作环境的洁净度，以下是详细的保养方法：
一、腔体与内部环境维护
定期清洁腔体内部
每日操作结束后，用无尘布蘸取异丙醇（IPA）或专用清洁剂，擦拭腔体内壁、工作台面及配件，去除残留的粉尘、试剂或材料残渣，避免污染物堆积。
每周检查腔体角落、密封圈凹槽等易积灰区域，使用软毛刷清理缝隙中的杂质，防止密封性能受影响。
若涉及腐蚀性材料操作，需增加清洁频率，必要时用中性洗涤剂擦拭，再用纯水擦净并干燥。
惰性气体纯度与循环系统维护
每日监测箱内氧气、水分含量（通过设备自带传感器），当数值超出设定阈值（通常 O?＜1ppm，H?O＜1ppm）时，及时启动净化循环，更换净化柱（根据使用频率，一般每 3-6 个月更换一次，具体以耗材寿命提示为准）。
每周检查惰性气体（如氮气、氩气）气瓶压力，确保气源充足，避免因气压不足导致外界空气渗入。
每月检查循环风机滤网，若有堵塞或污染，及时清洗或更换，保证气体循环效率。
二、手套及操作接口保养
手套检查与更换
每日操作前检查手套是否有破损、老化或漏气，可通过关闭手套箱进出口阀，向手套内充气观察是否漏气，或使用肥皂水涂抹表面检测气泡。
若手套出现裂纹、硬化或弹性下降，立即更换（建议使用原厂配套手套，如 Jugitec B 系列溴化丁基橡胶手套，确保兼容性和密封性）。
每次更换手套后，需重新测试接口密封性，防止气体泄漏。
手套接口与密封圈维护
每周清洁手套接口的法兰和密封圈，用无尘布蘸 IPA 擦拭，去除油污或杂质，避免密封圈老化（密封圈建议每 1-2 年更换一次，根据使用环境调整）。
保持接口区域干燥，防止密封圈因潮湿而变质，影响密封效果。
三、阀门、管路与控制系统维护
阀门与管路检查
每周检查各阀门（进气阀、排气阀、过渡舱阀等）的开关灵活性，确保无卡顿或泄漏，可手动操作阀门数次，观察是否顺畅。
每月检查连接管路的接头是否松动，用肥皂水检测是否漏气，若发现泄漏，及时紧固或更换密封垫。
对于涉及有机溶剂或腐蚀性气体的管路，定期用专用溶剂冲洗，防止残留物质堵塞管路。
控制系统与传感器校准
每月检查控制面板上的仪表显示是否正常，按钮、指示灯是否灵敏，若有异常及时联系售后检修。
每 3-6 个月对氧气、水分传感器进行校准（使用标准气体或校准工具），确保监测数据准确，避免误判环境纯度。
定期备份设备运行参数，防止因系统故障导致数据丢失。
四、过渡舱与辅助设备维护
过渡舱清洁与密封
每次使用过渡舱后，及时清洁内部，去除带入的粉尘或污染物，关闭舱门前确保密封圈清洁无异物。
每周检查过渡舱的抽真空 / 充气功能是否正常，观察压力变化是否符合设定值，若抽真空缓慢，可能是管路堵塞或真空泵故障，需及时排查。
真空泵保养
若配套真空泵为油式，每月检查油量和油质，油位低于刻度线或油质浑浊时，及时更换真空泵油（使用原厂推荐型号）。
干式真空泵需定期清洁进气滤网，防止粉尘进入泵体，影响真空度。
真空泵运行时注意听是否有异常噪音，若有异响可能是轴承磨损，需及时维修。