SPS POLOS ® SPIN150x匀胶机工作原理
SPS POLOS ® SPIN150x 是一款匀胶机,其工作原理是通过高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片表面。具体过程及相关原理如下:
基片固定:首先将基片放置在匀胶机的旋转台上,通过电子开关控制电磁阀完成气路通断,利用真空吸附等方式将基片固定,防止其在旋转过程中移动或脱落。
胶液滴涂:手动或通过自动化学品分配系统将胶液滴在基片中央。该设备支持单管或三管的中央分配管架,还可集成 N2 扩散器,有助于胶液的分配和铺展。
旋转涂覆:设备启动后,旋转台带动基片高速旋转,转速范围可达 1-12000RPM,精度为 ±0.1rpm。胶液在离心力作用下,从基片中心向边缘扩散,逐渐均匀地覆盖在基片表面。通过控制转速、旋转时间以及胶液的粘度等参数,可以调整最终胶层的厚度和均匀性。通常,转速越高,胶层越薄且越均匀。
过程控制:该匀胶机可通过触摸屏编程,具备无限的工艺步骤,能实现顺时针、逆时针旋转或交换摆动等不同旋转方式,还可精确控制加速、减速过程,最大加速度可达 30000rpm/sec,旋转时间也可精确设置,精度为 ±0.1 秒,从而确保可重复的工艺流程,满足不同的涂覆工艺需求。
